数据显示，8月25日，万家中证半导体材料设备主题ETF(159327)获净申购2695.76万元，位居当日股票ETF净流入排名74/1305。最新规模33.05亿元，前一日规模33.58亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为0.80%。

近5日，万家中证半导体材料设备主题ETF(159327)获净申购2.03亿元，位居股票ETF净流入排名第69/1305。近10日，万家中证半导体材料设备主题ETF(159327)获净申购2.77亿元，位居股票ETF净流入排名第41/1305。近20日，万家中证半导体材料设备主题ETF(159327)获净申购8.96亿元，位居股票ETF净流入排名第19/1305。

万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）成立于2024年7月24日，基金全称为万家中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为万家中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）跟踪标的指数为半导体材料设备（931743）。

规模方面，截止8月25日，万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）最新份额为29.18亿份，最新规模为33.05亿元。回顾2025年12月31日，万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）份额为3.07亿份，规模为5.61亿元。即该基金今年以来份额增加851.82%，规模增加488.89%。

流动性方面，截止8月25日，万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）近20个交易日累计成交金额68.91亿元，日均成交金额3.45亿元；今年以来，156个交易日，累计成交金额289.29亿元，日均成交金额1.85亿元。

万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）现任基金经理为吴宜蓉。吴宜蓉自2025年9月30日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益84.13%。

最新定期报告显示，万家基金（159327）重仓股包括中微公司、北方华创、长川科技、拓荆科技、华海清科、中科飞测、江丰电子、华峰测控、芯源微、沪硅产业，持仓占比如下：

跟踪半导体材料设备（931743）的ETF包括国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）、易方达中证半导体材料设备主题ETF（159558）、广发中证半导体材料设备ETF（560780）、华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）、万家中证半导体材料设备主题ETF（159327），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

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