宸微设备科技申请金属钼膜选择性沉积方法专利，提高金属钼膜的电导率和形成质量_基金精选

宸微设备科技申请金属钼膜选择性沉积方法专利，提高金属钼膜的电导率和形成质量

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2026-01-31 15:59:58

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国家知识产权局信息显示，宸微设备科技（苏州）有限公司申请一项名为“金属钼膜的选择性沉积方法、沉积设备”的专利，公开号CN121362956A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，一种金属钼膜的选择性沉积方法、沉积设备，方法包括：处理件具有暴露的活性表面和惰性表面，且活性表面和惰性表面之间具有沉积选择比；将处理件置于反应腔室内，进行多次沉积处理步骤，沉积处理步骤包括：载气携带不含氧元素的卤化钼前驱体进入反应腔室，与活性表面发生吸附；卤化钼前驱体与活性表面发生吸附之后，对处理件进行第一吹扫处理；进行第一吹扫处理之后，对反应腔室通入还原性共反应物，将活性表面吸附的卤化钼前驱体还原为金属钼层；还原为金属钼层之后，对反应腔室和处理件进行第二吹扫处理；进行多次沉积处理步骤之后，将多次沉积处理步骤形成的多层金属钼层作为金属钼膜。提高金属钼膜的电导率和形成质量。

天眼查资料显示，宸微设备科技（苏州）有限公司，成立于2022年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3157.8947万人民币。通过天眼查大数据分析，宸微设备科技（苏州）有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息77条，此外企业还拥有行政许可4个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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