7月4日消息，国家知识产权局信息显示，北京屹唐半导体科技股份有限公司、屹唐半导体科技（北京）有限责任公司申请一项名为“用于等离子体源的上进气盖板及等离子体处理设备”的专利。申请公布号为CN122337975A，申请号为CN202610457786.2，申请公布日期为2026年7月3日，申请日期为2026年4月8日，发明人丁伟、管长乐、范强，专利代理机构北京易光知识产权代理有限公司，专利代理师王姗姗、王英，分类号H01J37/32、H10P50/20。

专利摘要显示，本公开实施例提供一种用于等离子体源的上进气盖板及等离子体处理设备，其中，该上进气盖板包括：盖板基座，其底部设有向下方延伸的环形凸台，盖板基座内设有上层循环水道，环形凸台内设有下层循环水道；上层水道封板，覆盖盖板基座上表面并封闭上层循环水道；下层水道环形封板，覆盖盖板基座下表面边缘并封闭下层循环水道；进水口和出水口，均设置在盖板基座侧壁并分别与上层循环水道的一端连通。本公开实施例的技术方案可以通过双层流道的空间排布，实现对盖板底部环形凸台区域及密封结构的优先冷却，有效降低了盖板密封圈所在环境的温度，避免了因高温导致的密封失效及盖板热变形，提升了等离子体处理设备运行的稳定性和可靠性。

屹唐股份成立于2015年12月30日，于2025年7月8日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均为北京市。该公司是国内领先的集成电路制造设备供应商，核心产品覆盖干法去胶、快速热处理等设备，技术实力强劲。

屹唐股份主要从事集成电路制造过程中所需晶圆加工设备的研产销，为全球集成电路制造厂商提供集成电路制造设备、配套工艺解决方案及相关服务。公司所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备，涉及集成电路、存储概念、昨日高振幅等概念板块。

2025年，屹唐股份营业收入达50.76亿元，在行业25家公司中排名第6，高于行业平均数41.44亿元和中位数14.26亿元，但与第一名北方华创393.53亿元、第二名中微公司123.85亿元有差距。主营业务中，销售专用设备及备品备件收入49.64亿元，占比97.79%。净利润为6.71亿元，行业排名第8，高于平均数6.09亿元和中位数1.77亿元，不过和第一名北方华创54.09亿元、第二名中微公司20.64亿元相比仍有较大提升空间。

北京屹唐半导体科技股份有限公司近期专利情况如下：

天眼查数据显示，屹唐半导体科技（北京）有限责任公司成立日期2024年11月7日，法定代表人王斌，所属行业为专用设备制造业，企业规模为小型，注册资本100万人民币，实缴资本，注册地址为北京市北京经济技术开发区瑞合西二路9号院1号楼1层。屹唐半导体科技（北京）有限责任公司共对外投资了0家企业，参与招投标项目0次，财产线索方面有商标信息0条，专利信息8条，拥有行政许可1个。

屹唐半导体科技（北京）有限责任公司近期专利情况如下：

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