顶立科技申请气相进气系统相关专利，实现化学气相沉积炉多进气点精确分配
创始人
2026-02-28 10:21:55
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2月28日消息，国家知识产权局信息显示，湖南顶立科技股份有限公司申请一项名为“一种用于化学气相沉积炉多点进气的气体分配系统及方法”的专利。申请公布号为CN121575377A，申请号为CN202511780300.0，申请公布日期为2026年2月27日，申请日期为2025年11月28日，发明人周岳兵、胡祥龙、戴煜、魏巍、王艳艳，专利代理机构长沙市护航专利代理事务所（特殊普通合伙），专利代理师谢新苗，分类号C23C16/455、C23C16/52、C23C16/448。

专利摘要显示，本发明公开了一种用于化学气相沉积炉多点进气的气体分配系统及方法。所述分配系统包括液相前驱体供给单元、蒸发混合单元和多级气体分配单元，首先通过压力控制闭环稳定液体流量控制器的工作压差，实现液相前驱体的精确蒸发与混合；然后利用二级分配模块将混合气体按比例分配至沉积炉的不同部位；最后通过三级分配模块将混合气体进一步分配至同一部位的多个进气点，该系统还具备基于重量监测的全自动安全加液功能。本发明以一套集成系统实现了对多台设备、多部位、多进气点的精确、稳定、比例分配，解决了大型化学气相沉积炉设备气流场均匀性难题，显著降低了成本与占地面积，提高了自动化与安全水平。

天眼查数据显示，湖南顶立科技股份有限公司成立日期2006年5月25日，法定代表人戴煜，所属行业为专用设备制造业，企业规模为中型，注册资本3989.2752万人民币，实缴资本3989.2752万人民币，注册地址为中国（湖南）自由贸易试验区长沙片区星沙产业基地（长龙街道）凉塘东路1271号。湖南顶立科技股份有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目626次，财产线索方面有商标信息17条，专利信息448条，拥有行政许可139个。

湖南顶立科技股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1一种用于化学气相沉积炉易燃性副产物的高温裂解除尘装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511782354.02025-11-29CN121252506A2026-01-02魏巍、周岳兵、戴煜、胡祥龙、肖乐
2一种用于废旧磷酸铁锂正极片整体热解的中频加热辊道窑及热解方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511778804.92025-11-28CN121297448A2026-01-09周强、戴煜、蒋振宇、谢志坚、路继涛、李鹏胜
3一种废旧锂电池回收热解气高温除尘系统发明专利公布CN202511775267.22025-11-28CN121490512A2026-02-10周强、戴煜、蒋振宇、蒋岳师、李鹏胜
4一种用于化学气相沉积炉多点进气的气体分配系统及方法发明专利公布CN202511780300.02025-11-28CN121575377A2026-02-27周岳兵、胡祥龙、戴煜、魏巍、王艳艳
5一种高结合强度碳化硅涂层制备方法发明专利公布CN202511749665.72025-11-26CN121470992A2026-02-06刘志坚、林源、戴煜、张池澜、段巨祥、王艳艳、戴斌、廖常平、戴劲
6电阻式加热MOCVD设备中的双涂层载盘及其制备方法发明专利公布CN202511748650.92025-11-26CN121472824A2026-02-06林源、戴煜、王艳艳、肖乐
7一种低压脉冲式供气沉积碳化硅涂层的CVD系统及方法发明专利公布CN202511748057.42025-11-26CN121472818A2026-02-06张池澜、林源、戴劲、刘志坚、戴斌、王艳艳、段巨祥、戴煜
8一种梯度型碳化硅涂层制备方法及梯度型碳化硅涂层发明专利公布CN202511752767.42025-11-26CN121538619A2026-02-17林源、张池澜、戴煜、刘志坚、谭兴龙、段巨祥、戴斌、廖常平、戴劲
9一种沉积碳化硅涂层的CVD设备尾气处理系统及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511667919.02025-11-14CN121103112A2025-12-12段巨祥、林源、戴斌、戴劲、张池澜、刘志坚、谭兴龙、王艳艳、许鹏、戴煜
10一种用于CVD沉积设备的复合加热系统、协同控制方法及其在制备碳化钽涂层中的应用发明专利授权CN202511557669.52025-10-29CN121023471B2026-02-13戴斌、林源、刘志坚、段巨祥、许鹏、廖常平、戴劲、刘喆、戴煜
11化学气相沉积法制备TaC涂层用前驱体进料系统及方法发明专利授权CN202511553518.22025-10-29CN121046818B2026-02-24刘志坚、林源、戴煜、张池澜、段巨祥、王艳艳、戴斌、刘喆、戴劲
12一种分段式化学气相沉积法制备高致密TaC涂层的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511535392.62025-10-27CN121428657A2026-01-30林源、刘志坚、张池澜、戴煜、段巨祥、谭兴龙、王艳艳、戴劲、刘喆
13一种分段式CVD联用双刷涂工艺制备碳化钽涂层的方法发明专利授权CN202511535560.12025-10-27CN121005581B2026-02-13林源、刘志坚、张池澜、戴煜、段巨祥、谭兴龙、王艳艳、戴劲、刘喆
14一种用于提高MPCVD金刚石相纯度的装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511393911.X2025-09-28CN121228349A2025-12-30戴煜、胡祥龙、刘健、魏巍、周岳兵、唐兵兵
15一种石墨提纯炉炉膛温度检测装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511293742.22025-09-11CN121048400A2025-12-02胡祥龙、戴煜、李功勇、陈雄姿、王艳艳
16连续提纯炉保温层在线监控评估系统及其监控评估方法发明专利公布CN202511221823.12025-08-29CN120777902A2025-10-14李功勇、戴煜、胡祥龙、陈雄姿、周素阳
17一种用于回收废旧锂电池热解料的回转炉发明专利实质审查的生效、公布CN202511181107.52025-08-22CN120907330A2025-11-07戴煜、周强、蒋振宇、谢志坚、李鹏胜、倪俊
18一种应急条件下的固废热解气化装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511172399.62025-08-21CN121046121A2025-12-02戴煜、周强、蒋振宇、路继涛、李鹏胜
19一种真空高温设备的风冷开合门发明专利公布CN202511066601.72025-07-31CN120777887A2025-10-14马卫东、陈劲、何立志、胡阳春、戴煜
20一种内循环连续提纯炉及其提纯方法发明专利实质审查的生效、著录事项变更、公布CN202510797156.52025-06-16CN120609205A2025-09-09李功勇、胡祥龙、戴煜、陈雄姿
21一种废旧锂电池极片剥离及短流程修复的装置和方法发明专利著录事项变更、实质审查的生效、公布CN202510750585.72025-06-06CN120460103A2025-08-12朱二涛、戴煜、周强、倪俊、王艳艳
22一种蓄热式空气加热器用防漂浮蓄热体发明专利著录事项变更、实质审查的生效、公布CN202510341186.52025-03-21CN120027520A2025-05-23杨武青、向雷、林源、戴煜、胡祥龙
23一种蓄热式空气加热器用防漂浮蓄热体实用新型授权CN202520507371.22025-03-21CN223909741U2026-02-13杨武青、向雷、林源、戴煜、胡祥龙
24一种大尺寸超薄陶瓷均匀烧结设备及烧结工艺发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411880097.X2024-12-19CN119412927A2025-02-11杨武青、胡祥龙、戴煜、胡高健
25连续式高温铸锭熔炼设备及其加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411882206.12024-12-19CN119436821A2025-02-14陈涌泉、胡祥龙、戴煜、胡高健、蒋博、谌雷、赵焕、田金钢
26多腔室连续式高温热处理设备及其加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411882213.12024-12-19CN119480717A2025-02-18胡高健、陈涌泉、胡祥龙、戴煜、蒋博、谌雷、田金钢、赵焕
27一种适用于板状工件的化学气相沉积工艺及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202411880107.X2024-12-19CN119876913A2025-04-25胡祥龙、赵焕、魏巍、戴煜、胡高健、唐佩隧、谭时雨、刘琦
28一种适用于板状工件的化学气相沉积设备实用新型授权CN202423151025.X2024-12-19CN223592823U2025-11-25胡祥龙、赵焕、魏巍、戴煜、胡高健、唐佩隧、谭时雨、刘琦
29一种大尺寸超薄陶瓷均匀烧结设备实用新型授权CN202423145454.62024-12-19CN223909997U2026-02-13杨武青、胡祥龙、戴煜、胡高健
30多腔室连续式高温热处理设备实用新型授权CN202423146363.42024-12-19CN223957924U2026-02-27胡高健、陈涌泉、胡祥龙、戴煜、蒋博、谌雷、田金钢、赵焕
31锂电池电解液蒸发与有机物热解一体化炉及处理方法发明专利著录事项变更、实质审查的生效、公布CN202411755120.22024-12-03CN119634392A2025-03-18龙志斌、周强、戴煜、蒋振宇、李鹏胜、蒋岳师
32带组合式保温结构的中高频感应加热炉发明专利实质审查的生效、公布CN202411743884.X2024-11-30CN119289669A2025-01-10戴煜、胡祥龙、胡高健、谌雷、蒋博、杨武青
33带组合式保温结构的中高频感应加热炉实用新型授权CN202422941669.22024-11-30CN223769232U2026-01-06戴煜、胡祥龙、胡高健、谌雷、蒋博、杨武青
34一种可变分组感应线圈及感应加热炉实用新型授权CN202422950448.12024-11-29CN223600052U2025-11-25胡祥龙、戴煜、胡高健、谌雷、杨武青、杨毅成
35适用于环形工件的双加热器化学气相沉积设备实用新型授权CN202422938764.72024-11-29CN223766423U2026-01-06戴煜、胡祥龙、王艳艳、胡高健、谌雷、魏巍
36多料柱碳化硅单晶生长设备及其制备工艺发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202411698048.42024-11-26CN119177494A2024-12-24胡祥龙、胡高健、戴煜、王艳艳、谌雷、刘琦、田金钢
37在线换位的化学气相沉积设备及其加工方法发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202411698060.52024-11-26CN119177435A2024-12-24胡祥龙、戴煜、王艳艳、胡高健、魏巍、谭时雨、刘琦
38碳化硅单晶生长设备及其制备工艺发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202411698056.92024-11-26CN119177495A2024-12-24胡高健、胡祥龙、戴煜、谌雷、田金钢、谭时雨、刘琦
39一种MTS高精度快速蒸发装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411705592.72024-11-26CN119287342A2025-01-10胡祥龙、成双泉、蒋博、戴煜、胡高健、周瑶、刘琦、谭时雨
40晶体材料的高温高压铸锭炉及其铸锭方法发明专利授权、实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411698053.52024-11-26CN119194607B2025-03-14胡高健、胡祥龙、戴煜、潘成、蒋博、陈涌泉、周瑶
41内外双组份筒状工件的化学气相沉积炉发明专利授权、实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411698049.92024-11-26CN119177429B2025-03-14戴煜、胡祥龙、王艳艳、胡高健、刘琦、谭时雨
42适用于桶状工件的化学气相沉积设备实用新型授权CN202422893001.52024-11-26CN223409718U2025-10-03戴煜、胡祥龙、王艳艳、胡高健、刘琦、谭时雨
43一种连续炉尾气处理及氩气回收系统实用新型授权CN202422891330.62024-11-26CN223412509U2025-10-03戴煜、成双泉、蒋博、胡祥龙、胡高健、周瑶、田金钢、赵焕
44带晶体换热装置的碳化硅单晶生长设备实用新型授权CN202422890187.92024-11-26CN223766475U2026-01-06胡高健、胡祥龙、戴煜、谌雷、田金钢、谭时雨、刘琦
45坩埚位置可调的碳化硅单晶生长设备实用新型授权CN202422894420.02024-11-26CN223766476U2026-01-06胡高健、胡祥龙、戴煜、谌雷、田金钢、谭时雨、刘琦
46适用于环形工件的快速化学气相沉积设备发明专利实质审查的生效、公布CN202411694601.72024-11-25CN119265538A2025-01-07胡祥龙、刘琦、谭时雨、戴煜、胡高健、谌雷
47适用于环形工件的快速化学气相沉积设备实用新型授权CN202422876685.82024-11-25CN223409717U2025-10-03胡祥龙、刘琦、谭时雨、戴煜、胡高健、谌雷
48内置电磁场的化学气相沉积炉发明专利实质审查的生效、公布CN202411665157.62024-11-20CN119265546A2025-01-07胡高健、戴煜、胡祥龙、谌雷、魏巍
49废旧锂电池回收用源头降尘的回转炉发明专利著录事项变更、实质审查的生效、公布CN202411607288.92024-11-12CN119353914A2025-01-24周强、戴煜、蒋振宇、龙志斌、路继涛、李鹏胜、朱二涛
50一种磷酸铁锂电池负极剥离高纯铜箔再生制备铜粉的方法发明专利著录事项变更、实质审查的生效、公布CN202411345846.92024-09-26CN119242939A2025-01-03朱二涛、戴煜、周强、倪俊、王艳艳

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