本报讯（丁文婷）近日，经上海市市场监管局审批通过，同济大学国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海）（筹）在集成电路标准物质方面取得新突破，3项晶圆级标准物质获得国家二级标准物质证书。

　　标准物质是化学、生物等专业领域统一量值、开展量值传递溯源的主要载体，发挥着“测量砝码”的重要作用，是国家重要战略资源。通俗地讲，标准物质就是用来衡量检测结果是否准确的“尺子”。2023年，上海在全国率先承接国家二级标准物质定级鉴定审批权，在浦东新区和奉贤区试点，颁发全国首张省级市场监管部门审批的国家二级标准物质定级证书。2025年7月，市场监管总局充分肯定上海改革成果，将二级标准物质改革经验推广复制至上海全域以及内蒙古、湖南、四川部分地区。

　　此次获证的3项标准物质为八英寸晶圆级100nm（纳米）一维光栅标准物质、八英寸晶圆级200nm二维栅格标准物质、八英寸晶圆级100nm凹陷缺陷标准物质。这批标准物质可为集成电路检测设备提供可靠的量值标准，有效支撑周期测量、角度测量及典型缺陷检测等应用需求。随着集成电路制造向先进节点演进，芯片上的结构越来越小，传统几何量标准物质多基于小尺寸衬底加工，更适用于实验室场景，难以满足集成电路自动化检测需求。此次获证的标准物质可帮助我国量检测设备企业与晶圆制造厂解决“测不准、测不精、测不全”的产业难题，对提升我国集成电路微纳检测设备的计量测试能力、完善产业计量技术体系具有重要支撑意义。

　　国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海）（筹）以同济大学为主体，联合张江实验室筹建，在上海市市场监管局指导推动下于2024年起开展建设，是全国集成电路领域首批获批筹建的国家产业计量测试中心之一。该中心围绕集成电路制造中的典型结构与缺陷，重点开展了上述3项标准物质的研制与应用研究。

　　试点以来，上海市市场监管局通过创新开展涵盖技术能力、原始数据、计量溯源性、生产流程合规性等全要素现场审评，积极发挥专家“技术管家”作用，推动和优化智能审批服务、帮办服务、电子证书同步制发、证书免费邮寄送达等举措。截至目前，上海已颁发国家二级标准物质证书41张，覆盖标准物质56项。标准物质上市进度加快，进一步吸引产业上下游企业加入标准物质研发产业链，推动标准物质研制生产和产业组织方式不断创新，尤其对上海集成电路、生物制造、生命健康、先进材料等先导、重点产业高质量发展有积极意义。

　　此前，上海已研制的灭活基孔肯雅病毒标准物质是国内首个针对该病毒的二级标准物质，为疫情防控提供重要支撑；赭曲霉毒素纯度标准物质填补了国内行业空白，推进了真菌毒素标准物质国产化进程；紫外、可见光区波长溶液标准物质既可广泛应用于制药、医疗、食品、环保等行业的检测领域，也是国内首个紫外可见全波长检定/校准溶液标准物质；中国仓鼠卵巢细胞基因组DNA标准物质有助于提高产业链中DNA残留量检测的准确度，提升抗体药物、重组蛋白药物、疫苗等生物制品生产公司的产品质量，有利于解决生物制品生物安全问题以及国际贸易中的技术壁垒问题。