海纳半导体取得单晶炉磁场度盘相关专利，该度盘可便捷精准测量单晶炉横向磁场分布_市场解读

海纳半导体取得单晶炉磁场度盘相关专利，该度盘可便捷精准测量单晶炉横向磁场分布

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2026-08-26 10:44:03

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8月26日消息，国家知识产权局信息显示，浙江海纳半导体股份有限公司申请一项名为“单晶炉石英坩埚横向磁场强度分布测量度盘及测量方法”的专利，授权公告号CN122430752B，授权公告日为2026年8月25日。申请公布号为CN122430752A，申请号为CN202610894249.4，申请公布日期为2026年8月25日，申请日期为2026年6月22日，发明人潘金平、饶伟星、肖世豪、沈益军、张庆旭、郑欢欣、冯小娟、苏文霞、肖银平，分类号G01R33/10、C30B15/10、G01R1/08。

专利摘要显示，本发明公开了一种单晶炉石英坩埚横向磁场强度分布测量度盘及测量方法。该测量度盘包括：度盘本体，呈圆盘状，其底部设有用于与单晶炉坩埚托柄同轴限位安装的定位结构；磁极标识，其设于度盘本体上，用于与横向磁场的N极方向与S极方向对准；多个同心圆环标识，其以度盘本体的中心为圆心、以不同直径为半径设于度盘本体的上表面，各同心圆环标识分别对应一种石英坩埚边缘或晶体生长固液界面边缘的标准直径；角度分割线，其以度盘本体的中心为起点沿径向延伸至度盘本体的边缘，并以预设圆心角等分度盘本体的圆周。本发明以被动式度盘替代多轴电机驱动装置，实现快速同心定位和磁极标定，测量点位系统化且克服了磁场方向性问题。

天眼查数据显示，浙江海纳半导体股份有限公司成立日期2002年9月12日，法定代表人何昊，所属行业为非金属矿物制品业，企业规模为中型，注册资本10764.794万人民币，实缴资本10764.794万人民币，注册地址为浙江省开化县华埠镇万向路5号。浙江海纳半导体股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目39次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息73条，拥有行政许可49个。

浙江海纳半导体股份有限公司近期专利情况如下：

序号	专利名称	专利类型	法律状态	申请号	申请日期	公开(公告)号	公开(公告)日期	发明人
1	单晶炉石英坩埚横向磁场强度分布测量度盘及测量方法	发明专利	授权	CN202610894249.4	2026-06-22	CN122430752B	2026-08-25	潘金平、饶伟星、肖世豪、沈益军、张庆旭、郑欢欣、冯小娟、苏文霞、肖银平
2	一种抑制重掺砷硅衬底边缘自掺杂的加工方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202610077907.0	2026-01-21	CN122121636A	2026-05-29	徐子洋、张庆旭、沈益军、徐斌、徐文泓、张立安、肖世豪、程佳毅、苏文霞、程富荣
3	一种<110>晶向硅单晶棒的参考面加工方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202511559528.7	2025-10-29	CN121572092A	2026-02-27	潘金平、沈益军、肖世豪、徐斌、饶伟星、郑欢欣、王伟棱、余俊军
4	一种晶圆衬底胶体抛光方法及抛光机	发明专利	公布	CN202511436945.2	2025-10-09	CN121018399A	2025-11-28	沈益军、张庆旭、徐斌、徐文泓、饶伟星、肖世豪、张立安、郑欢欣、何昊、肖银平、蒋慧、徐子洋、余水强、袁逸铖
5	一种基于智能摄像的硅片背面氧化膜层识别方法及系统	发明专利	公布	CN202511064864.4	2025-07-31	CN121305143A	2026-01-09	吴雄杰、周永前、郑衍丰、饶伟星、朱贞军、汪丽芹、肖春柳
6	一种半导体单晶硅棒等径长度测量装置	实用新型	授权	CN202520622395.2	2025-04-03	CN224095102U	2026-04-07	肖银平、余水强、郑欢欣、王伟棱、冯小娟、苏文霞、郝嘉灏、田凯凯、张庆旭、潘金平
7	一种防止钢丝绳脱槽装置	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510196251.X	2025-02-21	CN120208113A	2025-06-27	杨国梁、饶伟星、潘金平、詹国建、余俊军、肖世豪、王伟棱、苏文霞、冯小娟
8	一种去除抛光片表面局部大颗粒的装置及方法	发明专利	公布	CN202510132893.3	2025-02-06	CN120169762A	2025-06-20	吕文静、张庆旭、沈益军、吴雄杰、张立安、饶伟星、肖世豪、余水强
9	一种用于多晶硅背封的LPCVD炉管的高效清洗方法及装置	发明专利	公布	CN202510008064.4	2025-01-03	CN120023149A	2025-05-23	刘伟、张庆旭、袁逸铖、叶顺、郑欢欣、吴雄杰、蒋慧、郑衍丰、余天威、王志雄
10	一种具有取向结构的硅片研磨砂浆及其制备方法	发明专利	著录事项变更、著录事项变更、实质审查的生效、公布	CN202410809127.1	2024-06-21	CN118853075A	2024-10-29	吴赛、张庆旭、郑欢欣、肖世豪、饶伟星、沈益军、张立安、余俊军、李晓庭、余天威
11	一种单晶硅片的二次切割加工和清洗方法	发明专利	著录事项变更、实质审查的生效、公布	CN202410785979.1	2024-06-18	CN118841318A	2024-10-25	饶伟星、张庆旭、余俊军、郑欢欣、沈益军、张立安、肖世豪、吴雄杰、程佳毅、余天威
12	一种便于测量晶片径向电阻率变化的四探针电阻率仪用定位盘	实用新型	专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权、公布	CN202420796503.3	2024-04-17	CN222420298U	2025-01-28	杨希望、江红卫、郑欢欣、许琴、白超、谢温妍、叶家林、钟红英、张立安
13	一种红外光谱仪样片夹紧装置	实用新型	授权	CN202420496039.6	2024-03-14	CN222734068U	2025-04-08	杨希望、许琴、白超、谢温妍、徐晖、叶家林、王慧艳、钟红英、王琼、张立安
14	一种APCVD背封炉腔体清理装置	实用新型	授权	CN202420395956.5	2024-03-01	CN222902101U	2025-05-27	刘伟、袁逸铖、叶顺、蒋慧、朱建勇、徐子洋、余水强、李晓庭、吕文静、欧亦峰
15	一种避免冷却泵吸入口产生涡流的装置	实用新型	专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权	CN202420315891.9	2024-02-20	CN222333949U	2025-01-10	江红卫、杨国梁、余双飞、高海军、胡恩华、詹国建、白超、肖银平、赵亮、潘金平
16	一种防止自吸水泵加液口喷液的装置	实用新型	授权	CN202420287921.X	2024-02-07	CN222686885U	2025-03-28	江红卫、杨国梁、高海军、余双飞、胡恩华、詹国建、程富荣、冯小娟、苏文霞、潘金平
17	一种抛光布粘贴工具	实用新型	授权	CN202323040078.X	2023-11-10	CN221135472U	2024-06-14	吴雄杰、汪丽芹、方亚萍、潘峰、操国强、陈定献、夏俊杰、徐子洋、叶顺
18	一种晶棒转移机构	实用新型	专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权	CN202323013649.0	2023-11-08	CN221141950U	2024-06-14	杨国梁、高海军、郑欢欣、王伟棱、肖银平、赵亮、冯小娟、苏文霞、潘金平
19	一种用于硅片背损伤砂浆中的金属净化方法	发明专利	著录事项变更、实质审查的生效、公布	CN202311453635.2	2023-11-03	CN117735556A	2024-03-22	沈益军、张庆旭、吴雄杰、朱建勇、蒋慧、余水强、欧亦峰、徐子洋、吕文静、李晓庭
20	一种单晶硅片衬底喷砂后清洗方法	发明专利	著录事项变更、实质审查的生效、公布	CN202311429647.1	2023-10-31	CN117711911A	2024-03-15	张庆旭、吴雄杰、蒋慧、代明明、余水强、欧亦峰、李晓庭、吕文静、徐子洋、朱建勇
21	一种超薄氧化硅片及其加工工艺	发明专利	著录事项变更、实质审查的生效、公布	CN202311374856.0	2023-10-23	CN117542725A	2024-02-09	肖世豪、张庆旭、吴雄杰、刘伟、袁逸铖、余天威、程佳毅、朱建勇、徐子洋、余水强
22	一种二氧化硅背封自动去边设备	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202311327687.5	2023-10-13	CN117542751A	2024-02-09	吴雄杰、张庆旭、蒋慧、郑衍丰、朱贞军、方亚萍、汪丽芹、徐子洋、袁逸铖、朱建勇
23	一种超薄硅晶圆减薄抛光设备及工艺	发明专利	著录事项变更、实质审查的生效、公布	CN202311053599.0	2023-08-21	CN117161942A	2023-12-05	潘金平、肖世豪、沈益军、饶伟星、张立安、吴雄杰、张庆旭、余天威
24	一种去除硅片边缘氧化膜的方法及装置	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202310491625.1	2023-05-04	CN116487250A	2023-07-25	张庆旭、沈益军、肖世豪、吴雄杰、饶伟星、张立安、代明明、徐佳俊、潘金平
25	一种背封硅片结构及其制备方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202310431706.2	2023-04-19	CN116646237A	2023-08-25	张庆旭、肖世豪、吴雄杰、饶伟星、沈益军、张立安、余天威、刘伟、潘金平
26	一种去边设备	发明专利	授权、公布	CN202310402383.4	2023-04-17	CN116469803B	2024-11-05	沈益军、吴雄杰、高海军、张庆旭、肖世豪、潘金平、刘伟、代明明、徐佳俊、余天威
27	一种硅片去边方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202310260832.6	2023-03-17	CN119132926A	2024-12-13	肖世豪、潘金平、沈益军、饶伟星、张立安、吴雄杰、赵文辉、张庆旭、刘伟、代明明
28	一种排风系统双阀排液装置	实用新型	授权	CN202320514469.1	2023-03-16	CN219934243U	2023-10-31	高海军、吴雄杰、郑欢欣、杨国梁、胡恩华、黄卫军、白超、王志雄、徐晖、潘金平
29	一种低压气相沉积用硅片载舟	实用新型	授权	CN202223166032.8	2022-11-28	CN219239757U	2023-06-23	张庆旭、吴雄杰、余天威、白超、聂早早、王志雄、徐晖、代明明、刘伟、徐佳俊
30	一种可等距调节的半导体硅片夹持器	实用新型	授权	CN202223164451.8	2022-11-28	CN219246657U	2023-06-23	张庆旭、吴雄杰、肖春柳、聂早早、王志雄、白超、余天威、徐佳俊、刘伟、代明明
31	一种水环泵吸气口防堵装置	实用新型	授权	CN202223018833.X	2022-11-14	CN218816992U	2023-04-07	杨国梁、黄卫军、高海军、左凯伦、詹国建、姜志宏、赵亮、徐晖、白超、潘金平
32	提高自吸水泵安全打水功能装置	实用新型	授权	CN202221967317.9	2022-07-28	CN218581825U	2023-03-07	江红卫、高海军、杨国梁、胡恩华、朱武、王伟棱、詹国建、白超、徐晖、潘金平
33	一种高效的硅片夹取转移装置	实用新型	避免重复授权放弃专利权、授权	CN202221603801.3	2022-06-24	CN217641283U	2022-10-21	吴雄杰、张立安、苏文霞、冯小娟、程富荣、余天威、夏卢晨、余求俊、白超、王志雄
34	一种高效的硅片夹取转移装置及其转移方法	发明专利	授权、公布	CN202210731190.9	2022-06-24	CN115050688B	2025-09-23	吴雄杰、潘金平、肖世豪、沈益军、饶伟星、张立安、肖春柳、冯小娟、苏文霞、白超
35	多线切割冷却液喷嘴	实用新型	授权	CN202221106518.X	2022-05-09	CN217802579U	2022-11-15	饶伟星、余俊军、杨国梁、郑明、程洪波、张立安、程富荣、夏卢晨、苏文霞、潘金平
36	经济型多功能晶片检测分选系统	实用新型	授权	CN202220992166.6	2022-04-26	CN217797445U	2022-11-15	许琴、张立安、余求俊、白超、王志雄、程富荣、苏文霞、夏卢晨、余天威、潘金平
37	一种超精密低损伤磨削硅片的软磨料砂轮	实用新型	授权	CN202220846939.X	2022-04-13	CN217394661U	2022-09-09	潘金平、肖世豪、张立安、苏文霞、程富荣、许琴、夏卢晨、余天威、白超、王志雄
38	晶片边缘轮廓测试仪	实用新型	专利权人的姓名或者名称、地址的变更、授权	CN202122878540.8	2021-11-23	CN216482846U	2022-05-10	许琴、张立安、余求俊、白超、王志雄、苏文霞、冯小娟、潘金平
39	晶片边缘轮廓测试仪	发明专利	授权、著录事项变更、实质审查的生效、公布	CN202111393274.8	2021-11-23	CN113932734B	2023-08-18	潘金平、肖世豪、沈益军、张立安、饶伟星、许琴
40	显微镜架	实用新型	专利权人的姓名或者名称、地址的变更、授权	CN202122177585.2	2021-09-09	CN215642034U	2022-01-25	余俊军、张立安、吴晓琦、郑明、高海军、杨国梁、程洪波、胡恩华、金裕隆、潘金平
41	一种快速高效的抛光机陶瓷盘搬运装置	实用新型	专利权人的姓名或者名称、地址的变更、授权	CN202121534549.0	2021-07-07	CN215281413U	2021-12-24	吴雄杰、张立安、肖春柳、高海军、郑欢欣、朱贞军、许琴、王伟棱、余求俊、饶伟星
42	一种抛光机陶瓷盘搬运装置	发明专利	授权、公布	CN202110766980.6	2021-07-07	CN113352222B	2025-07-15	吴雄杰、潘金平、肖世豪、沈益军、饶伟星、张立安、肖春柳、高海军、郑欢欣、朱贞军
43	一种提高硅片表面金属含量测试效率的治具载台	实用新型	专利权人的姓名或者名称、地址的变更、授权	CN202121339792.7	2021-06-16	CN215894531U	2022-02-22	张立安、吴雄杰、王志雄、白超、沈益军、肖世豪、潘金平、许琴、陈伯弘、任蔓青
44	一种双面抛光机刷盘结构	实用新型	专利权人的姓名或者名称、地址的变更、授权	CN202120994397.6	2021-05-11	CN215617275U	2022-01-25	吴雄杰、张立安、肖世豪、肖春柳、潘金平、余求俊、王伟棱、许琴、沈益军、饶伟星
45	一种单晶炉观察窗	实用新型	专利权人的姓名或者名称、地址的变更、授权	CN202120757464.2	2021-04-14	CN214937957U	2021-11-30	肖世豪、潘金平、张立安、吴雄杰、任蔓菁、苏文霞、冯小娟、余求俊、沈益军、饶伟星
46	一种提高重掺锑硅单晶氧含量的石英环	实用新型	授权	CN202120487013.1	2021-03-08	CN218842400U	2023-04-11	潘金平、肖世豪、张立安、吴雄杰、沈益军、饶伟星、苏文霞、白超、王志雄、陈伯弘
47	一种酸腐蚀废气处理装置及处理方法	发明专利	著录事项变更、实质审查的生效、公布	CN202110076651.9	2021-01-20	CN112870945A	2021-06-01	沈益军、潘金平、高海军、肖世豪、饶伟星、张立安、杨国梁、吴雄杰、苏文霞、余天威
48	一种硅片研磨机用测厚装置	实用新型	专利权人的姓名或者名称、地址的变更、授权	CN202120153614.9	2021-01-20	CN214519255U	2021-10-29	沈益军、吴雄杰、张立安、潘金平、饶伟星、肖世豪、苏文霞、梁奎、冯小娟、孟柱、余天威
49	一种酸腐蚀废气处理装置	实用新型	专利权人的姓名或者名称、地址的变更、授权	CN202120153630.8	2021-01-20	CN215610485U	2022-01-25	饶伟星、张立安、吴雄杰、高海军、潘金平、肖世豪、沈益军、杨国梁、苏文霞、余天威
50	一种用于硅片制备的金刚石膜片	实用新型	专利权人的姓名或者名称、地址的变更、授权	CN202022082924.4	2020-09-22	CN213126603U	2021-05-04	潘金平、肖世豪、胡晓君、陈洪、陈成克、张立安、李晓、蒋梅燕、沈益军、饶伟星、苏文霞

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