8月26日消息，国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“半导体版图与光学图的对齐方法、设备及存储介质”的专利。申请公布号为CN122636675A，申请号为CN202611001185.7，申请公布日期为2026年8月25日，申请日期为2026年7月7日，发明人齐鑫、张鹏斌、李楠楠、陈鲁，专利代理机构深圳市科进知识产权代理事务所（普通合伙），专利代理师曹郅炜，分类号G06T7/30、G06T5/00、G06V10/40、G06V10/20、G06V10/74、G06N3/045、G06V10/82、G06V10/80。

专利摘要显示，本发明公开了一种半导体版图与光学图的对齐方法、设备及存储介质，该方法包括：获取设计版图、检测光学图像以及与半导体制造或检测相关的工艺参数；分别提取设计版图和检测光学图像的结构特征图，并基于两张结构特征图进行初始对齐，得到空间变换的初始参数；基于初始参数，通过迭代更新空间变换的参数直至收敛，迭代更新包括：基于当前的空间变换参数对设计版图进行变换，并结合工艺参数构建多个参考图像样本，再依据多个参考图像样本的统计分布，更新空间变换的参数；输出最终的空间变换参数和对齐结果；本发明通过结构特征初始对齐、工艺参数引导的多次参考图像生成及统计分布更新，提高了版图与光学图像在复杂工艺条件下的对齐精度。

中科飞测是国内领先的集成电路检测量测设备供应商，拥有自主可控核心技术壁垒。公司成立于2014年12月31日，于2023年5月19日在上海证券交易所上市，注册及办公地址均位于广东省深圳市。

中科飞测主营业务为检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，所属申万行业为电子-半导体-半导体设备，同时覆盖半导体检测、HBM概念、中芯国际概念三大概念板块。

2026年上半年，中科飞测实现营业收入9.41亿元，在12家同行业可比公司中排名第8，当期营收规模低于行业平均数34.46亿元与行业中位数13.03亿元，同期行业营收前两位分别为北方华创201.61亿元、中微公司66.91亿元；营收结构方面，检测设备贡献收入6.41亿元，占比68.17%，量测设备贡献收入2.66亿元，占比28.22%，服务及其他收入3348.72万元，占比3.56%，软件收入53.1万元，占比0.06%。当期公司实现净利润-1.27亿元，在12家同行业可比公司中排名第11，低于行业平均数7.31亿元与行业中位数1.26亿元，同期行业净利润前两位分别为北方华创32.29亿元、中微公司27.97亿元。

深圳中科飞测科技股份有限公司近期专利情况如下：

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