数据显示，3月3日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购1712.34万元，位居当日股票ETF净流入排名178/1133。最新规模5.52亿元，前一日规模5.64亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为3.03%。

近5日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)遭净赎回4599.21万元，位居股票ETF净流出排名第150/1133。近10日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)遭净赎回6040.8万元，位居股票ETF净流出排名第176/1133。近20日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)遭净赎回7569.15万元，位居股票ETF净流出排名第173/1133。

鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）成立于2025年8月27日，基金全称为鹏华上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为鹏华科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）跟踪标的指数为科创半导体材料设备（950125）。

规模方面，截止3月3日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）最新份额为3.96亿份，最新规模为5.52亿元。回顾2025年12月31日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）份额为2.44亿份，规模为2.97亿元。即该基金今年以来份额增加62.24%，规模增加86.01%。

流动性方面，截止3月3日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）近20个交易日累计成交金额13.66亿元，日均成交金额6827.81万元；今年以来，36个交易日，累计成交金额31.75亿元，日均成交金额8818.12万元。

鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）现任基金经理为林嵩。林嵩自2025年8月27日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益39.37%。

最新定期报告显示，鹏华基金（589020）重仓股包括中微公司、拓荆科技、华海清科、沪硅产业、中科飞测、安集科技、芯源微、天岳先进、华峰测控、盛美上海，持仓占比如下：

跟踪科创半导体材料设备（950125）的ETF包括华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）、科半导体（588710）、鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

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