瑞红电子申请光刻胶共聚物相关专利,含特定共聚物用于ArF光刻胶,性能优且优化LWR
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2026-01-24 09:57:40
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1月24日消息,国家知识产权局信息显示,瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司申请一项名为“一种含甘油缩酮类(甲基)丙烯酸酯的共聚物及其制备方法、ArF光刻胶及应用”的专利。申请公布号为CN121378571A,申请号为CN202511801032.6,申请公布日期为2026年1月23日,申请日期为2025年12月2日,发明人陈田恬、翁宇晨、何坤,专利代理机构上海维卓专利代理有限公司,专利代理师刘琪,分类号C08F220/28、C08F220/18、G03F7/004。

专利摘要显示,本申请涉及ArF光刻胶技术领域,具体公开了一种含甘油缩酮类(甲基)丙烯酸酯的共聚物及其制备方法、ArF光刻胶及应用。一种含甘油缩酮类(甲基)丙烯酸酯的共聚物,以mol%计,包括以下组分:45‑60mol%的A单体、35‑55mol%的B单体、5‑15mol%的C单体,所述A单体为侧链包含内酯的(甲基)丙烯酸酯单体,所述B单体为侧链含有保护基团的(甲基)丙烯酸酯单体,所述C单体为侧链含甘油缩酮类(甲基)丙烯酸酯单体。本申请的含甘油缩酮类(甲基)丙烯酸酯的共聚物可用于ArF光刻胶制备,其具有分辨率高、图像形貌好、化学性能稳定等优点,且对线宽粗糙度(line width roughnrss,LWR)实现意外优化的效果。

天眼查数据显示,瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司成立日期1993年10月9日,法定代表人季昌彬,所属行业为化学原料和化学制品制造业,企业规模为小型,注册资本36164.6018万人民币,实缴资本300.4万人民币,注册地址为苏州市吴中经济开发区民丰路501号。瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目18次,财产线索方面有商标信息6条,专利信息86条,拥有行政许可19个。

瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1一种含甘油缩酮类(甲基)丙烯酸酯的共聚物及其制备方法、ArF光刻胶及应用发明专利公布CN202511801032.62025-12-02CN121378571A2026-01-23陈田恬、翁宇晨、何坤
2一种具有含氧桥环结构的聚合物及其制备方法、包含该聚合物的光刻胶及制备方法和光刻图形发明专利公布CN202511779419.62025-11-28CN121319272A2026-01-13张悦、杨顺、王鹏
3一种双酚芴型树脂及其制备方法、负性光刻胶和应用发明专利实质审查的生效、公布CN202411938447.32024-12-26CN119613687A2025-03-14陈田恬、胡俊、陈韦帆、张悦、翁宇晨、何坤
4一种耐刻蚀的ArF光刻胶及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411760970.12024-12-03CN119439620A2025-02-14郑祥飞、凤田、季昌彬、徐亮、陈韦帆
5一种含氟聚合物及其制备方法及用该聚合物制得的ArF浸没式光刻胶发明专利实质审查的生效、公布CN202411617089.62024-11-13CN119285842A2025-01-10郑祥飞、翁宇晨、何坤、陈田恬、季昌彬、徐亮、陈韦帆
6一种正型高分辨率光刻胶及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202410871241.72024-07-01CN118625597A2024-09-10徐亮、林书玮、张春、俞凯文
7一种KrF正性光刻胶及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202311838645.82023-12-28CN117908329A2024-04-19徐亮、黄巍、俞灏洋、林书玮
8一种正性光刻胶及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202311795454.82023-12-25CN117761970A2024-03-26徐亮、郑祥飞、季昌彬、张春、陈韦帆
9一种248nm正型光刻胶及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202311626142.42023-11-30CN117631455A2024-03-01徐亮、陈韦帆、林书玮、俞凯文
10一种KrF正型光刻胶发明专利实质审查的生效、公布CN202311626141.X2023-11-30CN117666285A2024-03-08徐亮、陈韦帆、郑祥飞、王振强
11一种用于光刻胶生产的自动喂料装置实用新型授权CN202322461513.X2023-09-11CN220802797U2024-04-19黄巍
12一种光刻胶生产用自动定量灌装装置实用新型授权CN202322346550.62023-08-30CN220616396U2024-03-19王振强
13负性光刻胶生产用搅拌溶解装置实用新型授权CN202322233074.72023-08-18CN220990355U2024-05-24马骥
14一种光刻胶加工用温度控制装置实用新型授权CN202322150909.22023-08-10CN220305692U2024-01-05郑祥飞
15ArF光刻胶成膜聚合物及其制备方法及用该聚合物制得的光刻胶及其应用发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202310759537.52023-06-26CN116693755B2024-03-29郑祥飞、徐亮、陈韦帆
16酰亚胺磺酸酯类光产酸剂、抗蚀剂组合物及其应用、电子组件发明专利实质审查的生效、公布CN202310197773.22023-03-03CN116283945A2023-06-23龚艳、徐亮、黄巍、郑祥飞
17一种肟酯类光引发剂及包含其的感光性组合物发明专利授权、公布CN202211414803.22022-11-11CN116082298B2025-04-25龚艳、陈韦帆、徐亮
18高产酸肟磺酸酯类光产酸剂及其抗蚀剂组合物应用发明专利发明专利申请公布后的驳回、著录事项变更、实质审查的生效、公布CN202211266580.X2022-10-15CN115611782A2023-01-17龚艳、马骥、季昌彬、林书玮、俞灏洋
19肟磺酸酯类光产酸剂及其抗蚀剂组合物应用发明专利发明专利申请公布后的驳回、著录事项变更、实质审查的生效、公布CN202211266611.12022-10-15CN115650886A2023-01-31龚艳、俞凯雯、张春、黄巍、王振强
20一种光刻胶用树脂及其制备方法及用该树脂制得的光刻胶发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202211266195.52022-10-15CN115536776B2023-08-29郑祥飞、徐亮、季昌彬、马骥
21一种高耐热酚醛树脂及其合成方法和由该树脂制得的正型I线光刻胶组合物、应用发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202211021653.92022-08-24CN115304727A2022-11-08郑祥飞、陈韦帆、徐亮、黄巍
22一种含六氟异丙醇单体共聚物及其制备方法和化学增幅型光刻胶、应用发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202211019961.82022-08-24CN115368494B2024-03-29郑祥飞、陈韦帆、徐亮、季昌彬
23耐刻蚀KrF光刻胶及制备方法发明专利授权、公布CN202111650156.02021-12-30CN114236965B2024-07-26陈韦帆、黄巍、徐亮、季昌彬
24一种耐刻蚀的正性光刻胶发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202111644603.12021-12-30CN114326304B2024-08-20陈韦帆、郑祥飞、俞灏洋、马骥
25一种KrF光刻胶及其制备方法发明专利授权、公布CN202111650135.92021-12-30CN114253072B2024-10-15陈韦帆、徐亮、郑祥飞、黄巍
26负性光刻胶生产用搅拌溶解装置实用新型授权CN202022581403.32021-08-09CN214210249U2021-09-17郑祥飞
27锂电池粘结剂自动称重灌装装置实用新型授权CN202022740472.42020-11-24CN213802865U2021-07-27俞灏洋
28正性光刻胶生产用自动投料装置实用新型授权CN202022735523.42020-11-24CN213854374U2021-08-03俞灏洋
29正性光刻胶自动灌装机构实用新型授权CN202022735444.32020-11-24CN214327093U2021-10-01俞灏洋
30锂电池粘结剂混合搅拌调配装置实用新型授权CN202022723469.12020-11-23CN213854119U2021-08-03俞灏洋
31锂电池粘结剂调配釜废水处理装置实用新型授权CN202022722531.52020-11-23CN213853352U2021-08-03俞灏洋
32正性光刻胶储存装置实用新型授权CN202022722612.52020-11-23CN215324265U2021-12-28俞灏洋
33负性光刻胶自动取样装置实用新型授权CN202022579054.12020-11-10CN213456268U2021-06-15纪昌炜
34光刻胶生产设备自动清洗装置实用新型授权CN202022581366.62020-11-10CN213793321U2021-07-27王振强
35光刻胶生产用废气处理装置实用新型授权CN202022579018.52020-11-10CN214209865U2021-09-17俞灏洋
36负性光刻胶生产用胶液循环过滤装置实用新型授权CN202022581402.92020-11-10CN214319361U2021-10-01张策
37一种单组份分子玻璃及其制备方法和应用发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202010141743.62020-03-04CN111302979A2020-06-19郑祥飞、徐亮、孙小侠、纪昌炜
38一种光刻胶剥离液废液再生利用的方法发明专利专利申请权、专利权的转移、授权、著录事项变更、实质审查的生效、公布CN202010101582.82020-02-19CN111302516B2023-05-05金炳生
39一种高耐热性羧基酚醛树脂及其合成方法发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202010009712.52020-01-06CN111154053A2020-05-15纪昌炜、郑祥飞、徐亮
40一种含高耐热性羧基酚醛树脂的厚膜光刻胶组合物发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202010009716.32020-01-06CN111176073B2023-11-07纪昌炜、郑祥飞、徐亮
41一种含高耐热性羧基酚醛树脂的负性光刻胶组合物发明专利专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权、实质审查的生效、公布CN202010009705.52020-01-06CN111123649B2024-01-30纪昌炜、郑祥飞、徐亮
42一种用于台面器件的高涂布均匀性负性光刻胶组合物发明专利专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权、实质审查的生效、公布CN201911044928.92019-10-30CN110824843B2023-05-02马骥
43一种单宁酸基多官环氧树脂及其制备方法和制备的可碱水显影负性光刻胶发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN201910327153.X2019-04-23CN110256655A2019-09-20纪昌炜、郑祥飞、穆启道、徐亮
44一种杂环多官光致产酸剂及其制备方法和制得的化学增幅型光刻胶发明专利专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权、实质审查的生效、公布CN201910326900.82019-04-23CN110231754B2023-05-02郑祥飞、徐亮、纪昌炜
45负性光刻胶、悬浊液及该悬浊液的配制方法发明专利专利权人的姓名或者名称、地址的变更、授权、实质审查的生效、发明专利申请公布CN201711248827.42017-12-01CN107870513B2020-12-29马骥、黄巍
46正性光刻胶发明专利发明专利申请公布后的视为撤回、实质审查的生效、公布CN201711003755.72017-10-24CN107728427A2018-02-23徐亮、季昌彬
47琥珀酰亚胺改性的环氧丙烯酸树脂及其制备方法、负性光刻胶组合物发明专利发明专利申请公布后的撤回、实质审查的生效、发明专利申请公布CN201710855118.62017-09-20CN107759715A2018-03-06黄巍、季昌彬
48适用于GPP二极管制造的负性光刻胶发明专利专利权人的姓名或者名称、地址的变更、授权、实质审查的生效、发明专利申请公布CN201710855085.52017-09-20CN107561862B2020-08-07马骥、卞玉桂
49一种氟代苯乙烯单体、含氟共聚物及在248nm深紫外光刻胶中的应用发明专利发明专利申请公布后的视为撤回、实质审查的生效、发明专利申请公布CN201710483169.02017-06-22CN107325218A2017-11-07穆启道、郑祥飞、纪昌炜
50一种光刻胶用显影液及其制备方法和应用发明专利专利申请权、专利权的转移、专利权人的姓名或者名称、地址的变更、授权、实质审查的生效、公布CN201610122642.82016-03-04CN105589304B2020-08-14高小云、刘兵、朱一华

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