阿斯麦EUV光源技术获突破，高“设备”含量的科创半导体ETF(588170)冲击3连涨，成交额破5亿元
2月23日，荷兰半导体设备巨头——阿斯麦表示，通过提升功率，可将光刻机极紫外光源的功率提升至1000瓦特，预计到2030年极紫外光刻机的每小时晶圆产量可增加50%。阿斯麦是全球唯一一家生产商用极紫外光刻（EUV）设备的公司，该设备是台积电、英特尔等芯片制造商生产先进计算芯片的关键工具。
截至2026年2月24日 13:59，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)上涨0.35%，成分股兴福电子上涨5.10%，天岳先进上涨3.64%，和林微纳上涨3.31%，安集科技上涨2.96%，神工股份上涨2.54%。科创半导体ETF(588170)上涨0.28%， 冲击3连涨。
流动性方面，科创半导体ETF盘中换手7.31%，成交5.93亿元。拉长时间看，截至2月13日，科创半导体ETF近1月日均成交10.56亿元。
规模方面，科创半导体ETF近3月规模增长49.32亿元，实现显著增长。
份额方面，科创半导体ETF近1月份额增长1.60亿份，实现显著增长。
资金流入方面，科创半导体ETF最新资金净流出1.18亿元。拉长时间看，近4个交易日内有3日资金净流入，合计“吸金”3068.27万元，日均净流入达767.07万元。
跟踪精度方面，截至2026年2月13日，科创半导体ETF近1月跟踪误差为0.005%，在可比基金中跟踪精度最高。
相关ETF：半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。
科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。
MACD金叉信号形成，这些股涨势不错！