8月26日消息，国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“多层焊柱的高度测量方法、芯片倾角测量方法及多层焊柱的高度测量系统”的专利。申请公布号为CN122641323A，申请号为CN202610788009.6，申请公布日期为2026年8月25日，申请日期为2026年6月2日，发明人陈鲁、马砚忠、张越，专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司，专利代理师闫淑贤，分类号H10P74/20、H10P74/00。

专利摘要显示，本申请提供一种多层焊柱的高度测量方法、芯片倾角测量方法及多层焊柱的高度测量系统，获取待测样品的焊柱分布图像，基于第1层焊柱在焊柱分布图像中的焊柱位置，控制红外干涉光谱装置偏离第1层焊柱的第一非焊柱位置上方，使红外干涉光谱装置中的红外光源向P层芯片发射光束，以及向红外干涉光谱装置的参考镜发射光束，来自多个芯片表面的测量反射光分别与来自参考镜的参考反射光发生干涉，得到第一红外干涉光谱信号，根据第一红外干涉光谱信号确定多个芯片表面分别对应的芯片表面位置；基于相邻芯片的芯片表面位置确定不同层焊柱的焊柱高度。本申请能够一次性实现对多层焊柱的焊柱高度测量，操作简单方便，且焊柱高度测量结果更为准确。

中科飞测是国内领先的集成电路专用检测量测设备供应商，依托自主可控技术打破海外厂商长期垄断格局，公司成立于2014年12月31日，于2023年5月19日在上海证券交易所上市，注册地与办公地均位于广东省深圳市。

公司主营业务为检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，所属申万行业为电子-半导体-半导体设备，同时覆盖半导体检测、HBM概念、中芯国际概念三大概念板块。

2026年上半年，中科飞测实现营业收入9.41亿元，在12家同行业可比公司中排名第8，同期行业营收第一名北方华创达201.61亿元，第二名中微公司为66.91亿元，行业平均营收34.46亿元，行业中位数为13.03亿元；营收结构方面，检测设备贡献6.41亿元占比68.17%，量测设备贡献2.66亿元占比28.22%，服务及其他业务收入3348.72万元占比3.56%，软件业务收入53.1万元占比0.06%。当期公司净利润为-1.27亿元，在12家同行业可比公司中排名第11，同期行业净利润第一名北方华创达32.29亿元，第二名中微公司为27.97亿元，行业平均净利润7.31亿元，行业中位数为1.26亿元。

深圳中科飞测科技股份有限公司近期专利情况如下：

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